期未報告-鄭景隆
蓄熱式焚化爐應用於處理半導體業VOCs的實務探討/鄭景隆
以沸石濃縮轉輪(ROTOR)及直燃式焚化爐(Thermal Oxidizer, TO)應用於處理半導體業製程產生的揮發性有機廢氣(Volatile Organic Compounds, VOCs)已是行之有年的成熟技術，由於廢氣特性為低濃度大風量，故濃縮廢氣濃度成為焚化前必要的經濟手段，然而長久以來利用焚化處理設備所耗用的能源，卻是成為削減VOCs排放的二次污染成因。為了達到並符合環保法令對產業管制的VOCs排放標準或削減率(如半導體法規及光電法規)，幾乎大型科技廠都不得不把使用燃料當輔助熱值視為理所當然的處理方式，然因燃燒而排放產生的CO2影響卻不在現行法令管制之內，加上高昂的操作成本，使得設置一套有著良好處理效率的有機廢氣處理設備只是耗費的開端，不知每年用在處理濃縮廢氣的燃料成本才是最可觀的。近來，陸續有廠商推展改用蓄熱式焚化爐(Regenerative Thermal Oxidizer, RTO)取代原有的直燃式焚化爐(TO)，在維持可符合法令處理效能規範的前題下，大大減少操作成本，創造節省能源並減少CO2排放的雙重效益，已漸漸成為一舉數得的精進方案。藉由這樣的設備調整，到底有什麼操作重點，是否有要特別注意的條件限制，而節省的能資源是否經濟可觀，藉由對實廠操作的經驗探討及相關數據的呈現，提供給有興趣了解的同好做參考。

參考文獻
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