廢氣濕式洗滌塔吸附劑（循環水）串接結構改造專利案

摘要：
近年來因光電及半導體業之投片面積及產量逐年擴大，其生產機台所排出之廢氣處理量亦明顯增加，相對空污處理防治設備之台數，也需增多來因應廢氣處理量增加之問題。過去廠房設置兩座或兩座以上之處理相同一種空氣污染特性之廢氣洗滌塔，其設置結構均各為獨立，相互不影響之架設原則。當某一座洗滌塔運作狀況發生問題，其他座洗滌塔均無法反應，若其異常洗滌塔之監測儀器異常或停滯同一數值下，將無法直接確認已發生異常，其外氣環境或廢水將持續造成排放異常等問題。另外，各座獨立洗滌塔之處理負荷輕重不一，所處理後之洗滌液水質亦有污染物濃度高低之分，水質差異問題，於控制操作上將增加困擾。其問題點如下：
(1)pH值控制不良，其洗滌液水洗效果下降，而造成偏酸或偏鹼之空氣污染物排放至外界環境，另對其洗滌液加藥補償(酸/鹼中和)亦產生異常，影響其加藥用量。
(2)導電度控制異常，其洗滌液將無法正常排換或持續排換，前者將造成洗滌液濃縮，影響其廢氣處理效率，後者則造成用水量加大，用水浪費。
(3)廢氣處理效率若不良，其空氣污染物之排放濃度偏高。
(4)廢氣洗滌塔之所排出之洗滌液，均仍有具殘留化學品，仍需導入廢水處理廠進行廢水處理，這些由洗滌塔所排放出之具酸、鹼性或有機物廢水，其濃度高或低，亦直接影響廢水處理廠之處理系統。
針對上述問題之改善方式，即將原洗滌塔設計進行改造，改善後除可穩定洗滌塔循環水質及水洗效率，減少廢水處理系統衝擊與有效控制廢氣污染排放外，甚而減少新處理設備之儀表裝設需求數量、延長長期偵測之儀表使用壽命、降低運轉成本等，並可供未來新設廠與既設廠規劃及改善之用。