期末報告題目：VOC控制技術－沸石轉輪應用特性及問題探討分析

期末報告題目：VOC控制技術－沸石轉輪應用特性及問題探討分析
綱要：
　　　環保署繼於民國91年公告『半導體製造業空污染管制及排放標準』後又陸續於95年公告『光電材料及元件製造業空污染管制及排放標準』，嚴格管制許多高科技業（半導體製造及光電製造）產業所排放之空氣污染物。控制半導體及光電業所產生之揮發性有機物之技術包括：吸收法、吸附法、沸石吸附濃縮轉輪焚化系統、冷凝法及生物處理法。其中沸石吸附濃縮轉輪焚化系統是內半導體業界採用最多且能穩定操作、符合法規要求者。
當沸石轉輪系統處理含有大量高沸點物質VOCS若以加高脫附溫度做為有效脫附高沸點物之程序時，若無良好操作維護措施則可能造成整體系統當機，進一步在沸石轉輪匣內造成嚴重之悶燃現象。
參考文獻：
1. 林育旨，「沸石轉輪系統遭悶燃後之效能與材料特性分析」，工業污染防治101期
2. 張豐堂，「沸石濃縮轉輪焚化技術常見問題與解決問題」
3. 林育旨，「沸石轉輪吸附材改良與結合冷凝器效能提升」，博士論文，交通大學
4. 環境保護署
5. 張豐堂、張智能，「半導體及光電產業現行揮發性有機廢氣控制設備之研發」，化工技術第14卷第1期