期末報告 : 半導廠全氟化物(PFC) 減量策略及Local scrubber處理效率探討

摘要
基於保衛地球及永續發展的理念，聯合國於1992年倡導「氣候變化綱要公約」，全球共計百餘國參與簽署，共同宣誓管制溫室氣體排放的決心，並於1997年通過「京都議定書」，協議已開發國家應於2008至2012年之前，減少相當於1990年溫室氣體排放量之5%以上。
導致全球溫室效應的主要氣體包括二氧化碳(CO2)、甲烷(CH4)、一氧化二氮(N2O)及全氟化物(Perfluorocompounds；PFCs)等，雖然前三種氣體的溫室效應貢獻比例即佔了總量的80%以上，但因全氟化物的結構穩定、不易自然代謝，且其溫室效應潛勢(Global Warming Potential; GWP)為二氧化碳的數千甚至數萬倍，加以因PFCs為工業化的產物，在大氣中的含量正以驚人的速度迅速累積，是以各國均將全氟化物列為重要的管制及削減對象。
依台灣半導體協會要求，國內半導廠全氟化物的排放量於2010年排放量需降至其減量基準年之90% ，故以氣體監測技術(FTIR及QMS)，進行PFC機台製程尾氣監測，以探究替代性化學品之可行性，並評估Local Scrubber之處理效率。計畫目標為：1.減少全氟化物用量及排放量；2.提高PFC使用機台清洗效果；3.評估Local Scrubber處理設備之處理效率；4.瞭解全氟化物排放量；5.落實全氟化物減量計畫，建立綠色產品形象。

參考文獻︰
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