期末報告：高科技產業VOCs 廢氣冷凝吸收技術介紹與效率提升探討

摘要：
半導體晶圓製造廠及TFT-LCD 面板光電製造業的去光阻製程(Stripping process)中，所使用去光阻液(Strippers)大部分為ACT690、ACT690C、TOK106、N300 與SPS-200 等系列產品，而此類產品所含之化學物質皆具有高沸點低蒸氣壓，且易溶於水之相同特性。目前業者多採就地裝設冷凝器加以回收處理，此類冷凝回收系統對中高沸點且全溶於水之有機物質，在正確的設計與操作下可高達85％ 以上之回收效率，因此在進入後端VOCs 防制設備前，將源頭機台端高沸點物質分流後，就地設置冷凝回收器作為前處理，即為業者普遍採用的方式。
其所冷凝吸收下來之VOCs 除可回收再利用外，由於廢氣所含難處理且有害於後端廢氣處理設備的VOCs 濃度大幅下降，可降低後端廢氣處理設備之負荷，並可立即且有效提升其整體之處理效率，及降低產生臭味物質的排放風險， 可見冷凝回收器之效率是其相當重要的一環。
冷凝吸收回收器之設計原理雖相當簡單，但要達到高效率之設計及操作狀態卻也有許多考量重點。而此兩大產業於此製程中皆產生了大量的製程廢氣，所以對於處理製程所產生廢氣相關問題的挑戰越來越大，因此處理設備對於製程廢氣濃度削減率的評估即成為一項極重要的工作。本文對目前國內業者廣泛應用之冷凝回收設備所面臨效率不佳問題，結合降溫冷凝及液膜吸收之雙重效能的機制，可有效提升冷凝回收系統之效率，並可以減少傳統冷凝器之能源耗用。

參考文獻:
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