期末報告 - 半導體業對氟氯碳化物廢氣處理技術探討

地球暖化問題愈來愈嚴重，除了二氧化碳是主要原因之外，氟氯碳化物由於其化學性質相當穩定，生命期長達數十年至百年之久，因此會在大會中不斷累積，最後上升至平流層。在這裡受到紫外線照射而 分解產生氯原子與臭氧反應，使臭氧分解消失。
一個氯原子在失去活性以前，足以破壞一萬個臭氧分子，因此對臭氧層造成莫大的威脅，半導體業及面板業因製程需求需大量使用此類化學品，因而排放多數之氟氯碳化物，舊有技術大部分採用高溫裂解及水洗或吸附方式處理，但其去除效率不佳，進來因電漿解離技術成熟，使得其處理效率可達90%以上。
本文針對各種處理技術做一探討，比較其優劣點並做出未來遵循之方向。

參考文獻
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