張超鈞 / 半導體廠無塵室毒性氣體洩漏防範機制 – 氣體偵測器(Gas Detector)特論

半導體廠無塵室毒性氣體洩漏防範機制 – 氣體偵測器(Gas Detector)特論
9476514 / 張超鈞

摘要：
半導體因製程具多樣性，故所使用的毒性化學物質繁多，且大多數均含有毒性、腐蝕性、自燃性、易燃性或易爆性等之特質，除了在排氣系統(Exhaust)管路材質選用與排氣分類上要特別重視外，被視為「環保尖兵」的氣體偵測器(Gas Detector)，在第一線的運作就更重要。當氣體外洩時，無塵室潔淨度將被污染，且現場工作人員亦有生命危害的安全疑慮，嚴重時更可能導致廠房生產線停擺。
過去50多年來，半導體進步神速的背後，是來自大筆資金的投資，一座典型8吋廠需要超過300億的投資，而12吋廠投資金額更達900億元，在環保意識高漲的今天，如何預防環境污染，規避經營風險及保障人身財產安全，已成為目前最具關注的議題。
由於半導體產品變化性大與製程多樣化，因此在製程中所引發的其他種類的有毒氣體危害，對人體健康與環境污染具有極大殺傷力，本文將介紹半導體廠常發生哪些氣體外洩？輔以實際案例說明氣體外洩的原因，並詳載氣體偵測器所扮演的角色(包含偵測器偵測原理、種類與選用、佈點規劃、干擾物質與維護校正等)。
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