期末報告 - VOCs處理設備運轉參數調整實務經驗探討(以DRAM廠為例)

摘要：
一般半導體業在空氣污染防治設備的運轉條件控制上，都是視實際產能情況，將風機調整至符合潔淨室內所需的風量及壓力條件為止。而當產能穩定時，汙染物排放情況未必會與初始設計條件相同。以揮發性有機廢氣處理設備為例，雖然說利用沸石吸附濃縮焚化系統處理，其削減率皆能達到一定地水準，但若沒有視實際情況將操作參數維持在良好條件時，則可能會造成整體處理效率低落而未達法規標準，進一步更有可能損害沸石的運轉壽命。
本文即以竹科某DRAM廠為例，除了實際探討當操作參數改變時對處理效率的影響之外，並提出結合廠務設備「紅外線熱顯像儀」作有效性地預防偵測，避免濃縮後的高濃度揮發性有機廢氣，從後燃燒設備洩漏而造成非削減率不足的異味事件。

參考文獻：
1.白曛綾、陳建志，「操作績效自我評估管理制度手冊_沸石濃縮轉輪焚化系統」，2003
2.張豐堂，「沸石濃縮轉輪焚化技術常見問題與解決問題」
3.C.David Cooper、F.C.Alley，「空氣污染防治」，1998年