期末報告 VOCs控制採用恢復式燃燒爐實務運用探討(以CF廠為例)

恢復式焚化法(Recuperative Thermal Oxidizer)：製程排放之廢氣經製程風車排出後，此股廢氣流送入一次熱交換器，利用焚化法之廢熱回收預熱後，再送入燃燒機焚化分解，以節省燃料費，恢復式焚化法主要係以管殼式熱交換器回收焚化設備高溫排氣熱量，一般熱回收效率約70%以上。
半導體及光電產業之製程廢氣，一般而言，大都具有大風量(風量>10000CMH以上)極低濃度(濃度<500ppm as CH4)的特性，且廢棄的組成中常含有沸點高、低差異大的化學品，例如：IPA,Acetone,MEA,DMSO,PGME---等，造成處理的難度增加。至於何方法較佳，則完全視使用單位之排氣特性及可提供之公用設施而定。
本報告將是針對彩色濾光片廠VOCs使用恢復式焚化法(Recuperative Thermal Oxidizer)運轉所發生的問題進行探討。

參考文獻
1. 半導體及光電產業現行揮發性有機廢氣控制設備之研發_張豐堂、張智能
2. 揮發性有機氣體(VOCs)控制技術_張木彬
3. 印刷業/膠帶業焚化處理技術及案例介紹_張豐堂
4. Anquil Environmental Systems web site at http://www.anguil.com/prregthe.php.