光電業沸石濃縮轉輪處理系統效率探討

光電業為我國電子業中屬政府政策性開發與輔導的優勢產業。在我國眾多電子業當中，為保持競爭性相關業者仍不斷增建新廠、在擴增產能的效應下，製程處理後所排放的空氣污染物相對於環境造成的危害，尤其針對揮發性有機廢氣均採用沸石濃縮轉輪搭配熱焚化爐。

以光電業中TFT-LCD 3.5代廠為例，討論光電業製程中之VOCS沸石濃縮轉輪處理系統面臨效率的問題，例如管道內有不明粉未、平衡風管洩漏，經由分析方法與參數調整等方式，有效提昇沸石濃縮轉輪處理系統效率。

1. 行政院環境保護署 (2002)，「特定行業揮發性有機物污染檢測及污染物特性分析計畫」，EPA-91-FA12-03-A220。
2. 張豐堂，「沸石濃縮轉輪焚化技術常見問題與解決問題」3. 環保署網站, http://61.219.231.115/inf/subvoc.htm
5. 張豐堂、張智能，「半導體及光電產業現行揮發性有機廢氣控制設備之研發」，化工技術第14卷第1期6. 蘇茂豐 (2003)，「國內半導體製造業及光電業之產業現況、製程廢氣污染來源與排放特性」。經濟部環境技術e報第3期。