期未報告-沸石轉輪系統遭悶燃後之效能與材料特性分析

摘要
沸石轉輪系統可穩定處理高流量低濃度揮發性有機氣(volatile oraganic compounds，VOCs)，且能維持高VOCs去除效以符合法規要求，是目前國內半導體及光電業最廣泛用以控制VOCs之污染防制設備。當沸石轉輪系統處理含有大量高沸點物質VOCs若以加高脫附溫度做為有效脫附高沸點物質之程序時，若無良好操作維護措施則可能造成整體系統當機，進一步在沸石轉輪匣內造成嚴重之悶燃現象。本篇報告為研究以某座遭悶燃之沸石轉進行採樣探討是否仍具VOCs吸附效能，並藉由材料分析瞭解遭悶燃後物性變化情況。

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