期末報告--活性碳流體化床運用於CF產業之探討

光電產業為近年來政府所大力扶持之產業，而隨著製程技術的演進，所使用之化學品種類亦趨近複雜，且大量使用有機性化學品來做為塗佈及清潔用途。而彩色濾光片(Color Filter)為TFT-LCD之關鍵零組件，在整個薄膜電晶體液晶顯示器中扮演著不可或缺之角色。依據其世代推估，次世代廠所排放揮發性有機污染物(volatile organic compounds, VOCs)濃度不亞於半導體業，而該產業於黃光區大量使用光阻液、去光阻劑、顯影液等有機性化學品做塗佈及光罩清洗..等為主要VOCs來源。其廢氣特性為高風量、低濃度及所含VOCs組成多樣化，本次報告就活性碳流體化床適合處理大風量及排放濃度屬低至中範圍(100∼1,000 ppm as CH4)，運用於國內某CF廠中做一探討。

參考文獻
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